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                        壓電定位Z軸平臺(tái)
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                        NPS-Z-500C
                    
    
                    
    
                        
    
                            
    
                                
    
                                    
      
                                            
                                                                                    
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    NPS-Z-500C
    
                            
    緊湊型 500 μm 高精度升降臺(tái)
    
                            
    
                                                                    
    500 μm 閉環(huán)行程
    
                                                                    
    低旋轉(zhuǎn)誤差 0.0025°
    
                                                                    
    2 nm 分辨率
    
                                                                    
    5 nm 的重復(fù)性
    
                                                                    
    伺服帶寬高達(dá) 55 Hz
    
                                                                    
    線性度誤差為 0.002% 典型值
    
                                                                    
    空載諧振頻率通常為 210 Hz
    
                                                            
    
                        
    
                    
    

                
    
            
    
            
    
                
    
                    
    
                        
    
                                                        
    產(chǎn)品描述
    
                                                                                    
    產(chǎn)品參數(shù)
    
                                                                                    
    資料下載
    
                                                                                    
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    產(chǎn)品描述
    
                            
    緊湊型 500 μm 高精度升降臺(tái)
    

    Queensgate 的納米定位平臺(tái)（NPS）系列旨在為對(duì)速度和精度有嚴(yán)苛要求的應(yīng)用場(chǎng)景提供優(yōu)異性能。
    

    NPS-Z-500C 是一款緊湊型、長(zhǎng)行程的壓電高度調(diào)節(jié)平臺(tái)，其在閉環(huán)控制下可移動(dòng) 500 微米。
    

    該產(chǎn)品為 OEM 和定制項(xiàng)目而設(shè)計(jì)，其小巧的尺寸非常適合集成到儀器或測(cè)試設(shè)備中。內(nèi)置的電容式定位傳感器能夠?qū)崿F(xiàn)高速性能和低至納米級(jí)的重復(fù)精度。
    

    得益于柔性鉸鏈導(dǎo)向帶來(lái)的低誤差運(yùn)動(dòng)，讓這款平臺(tái)在整個(gè) 500 微米的行程范圍內(nèi)能始終保持平穩(wěn)狀態(tài)，這使得樣品托架能夠進(jìn)行偏移，從而在保持高精度定位的同時(shí)方便地接近樣品。樣品托架和平臺(tái)安裝件可根據(jù)各種應(yīng)用需求進(jìn)行定制，適用于顯微鏡、硬盤測(cè)試以及半導(dǎo)體檢測(cè)等廣泛領(lǐng)域。
    

    

    特性
    

    ● 500 μm 閉環(huán)行程
    

    ● 低旋轉(zhuǎn)誤差：0.0025°
    

    ● 2 nm 分辨率和 5 nm 的重復(fù)性
    

    ● 線性度誤差為 0.002% 典型值
    

    ● 原位掃描和步進(jìn)響應(yīng)優(yōu)化
    

    ●  電容式定位傳感器提供無(wú)與倫比的位置精度和準(zhǔn)確度
    

    ●  動(dòng)態(tài)性能：空載諧振頻率通常為 210 Hz，伺服帶寬高達(dá) 55 Hz
    

    ● 插頭內(nèi)置芯片用于儲(chǔ)存校準(zhǔn)數(shù)據(jù)實(shí)現(xiàn)即插即用，控制器可替換使用，減少系統(tǒng)停機(jī)時(shí)間。
    

    應(yīng)用
    

    

    ● 高精度顯微鏡
    

    共聚焦顯微鏡
    

    光片顯微鏡
    

    ● 硬盤檢測(cè)
    

    ● 半導(dǎo)體檢測(cè)和制造
    

    ● 科學(xué)和醫(yī)療儀器
    

    ● 反射鏡位置調(diào)節(jié)
    

    推薦控制器
    

    

    ● NPC-D-6110
    

     
    

    

    

     
    

     
    

     
    

     
    

     
    

     
    

    
                        
    
                                                                        
    
                            
    產(chǎn)品參數(shù)
    
                                                        
    
                                
    
                                    
                                    
    
                                        參數(shù)/型號(hào)
                                        
                                                                                    方向
                                                                                    材料
                                                                                    行程 μm
                                                                                    負(fù)載 kg
                                                                                    線性誤差 %
                                                                                    重復(fù)定位精度 nm
                                                                            
    
                                        
                                    
                                                                            
    
                                            NPS-Z-500C
                                                                                            
    Z
    		
                                                                                            
    鋁/不銹鋼
    		
                                                                                            
    500 閉環(huán)
    		
                                                                                            
    NA.
    		
                                                                                            
    0.002
    		
                                                                                            
    5
    		
                                                                                    
    
                                                                            
                                
    

                            
    
                            
    
                                
                            
    
                                                    
    
                                                                        
    
                            
    資料下載
    
                                                            
    
                                    
    產(chǎn)品資料
    
                                                                                                                    
    
                                            NPS-Z-500C-EN-Datasheet
                                            
    
                                                
                                                798.37KB
                                            
    
                                            
    
                                                
                                                2026-01-16
                                            
    
                                            
    

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    軟件以及二次開發(fā)
    
                                                                                                                    
    
                                            Nanobench 1.4.4.1
                                            
    
                                                
                                                22.10MB
                                            
    
                                            
    
                                                
                                                2026-01-16
                                            
    
                                            
    

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                                            Nanobench 2.7.9API
                                            
    
                                                
                                                39.05MB
                                            
    
                                            
    
                                                
                                                2026-01-16
                                            
    
                                            
    

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    相關(guān)附件
    
                                                            
                                                    
    
                                            
    
                
    
            
    
        
    
    
    
    
    
    

    

    
    
    
    
    產(chǎn)品中心
    

    

    
    
    
        
        
    
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