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                        壓電定位2軸平臺
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                        NPS-XY-100D
                    
    
                    
    
                        
    
                            
    
                                
    
                                    
      
                                            
                                                                                    
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    NPS-XY-100D
    
                            
    兩軸XY壓電臺
    
                            
    
                                                                    
    單軸＞100 微米行程，亞納米級分辨率
    
                                                                    
    滯后和線性誤差＜0.005 %
    
                                                                    
    一階諧振頻率＞650 Hz 
    
                                                                    
    高帶寬（＞50 Hz），響應時間短
    
                                                                    
    原位掃描和步進響應優(yōu)化
    
                                                            
    
                        
    
                    
    

                
    
            
    
            
    
                
    
                    
    
                        
    
                                                        
    產(chǎn)品描述
    
                                                                                    
    產(chǎn)品參數(shù)
    
                                                                                    
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    產(chǎn)品描述
    
                            
    NPS-XY-100 壓電掃描柔性鉸鏈導向平臺，帶有集成的電容位置傳感器，具備亞納米級的分辨率和可重復性。
    

    柔性鉸鏈導向機制的有限元分析將整個 100 微米范圍內的寄生角運動減少到了 25 微弧度以下。獨特的均衡安裝系統(tǒng)可確保來自安裝系統(tǒng)的應力降低，并將平臺的中心確立為坐標參考點。
    

    NPS-XY-100 A 二軸 100 × 100 μm 平臺超殷瓦鋼板-由超殷瓦低膨脹系數(shù)合金（CTE 0.3ppm K-1）構成，能夠較大限度的減少熱漂移，在納米尺度上這是非常重要的。三點式運動學安裝。
    

    NPS-XY-100 D 二軸 100 × 100 μm 平臺超鋁版-由鋁制成。其具有 XY-100 系列中優(yōu)異的分辨率和較快的動態(tài)性能，且性價比高。四角式固定，安裝簡單。
    

    特性
    

    ● 單軸 ＞100 微米行程，亞納米級分辨率
    

    ● 滯后和線性誤差 ＜0.005%
    

    ● 一階諧振頻率 ＞650 Hz?
    

    ● 高帶寬（＞50 Hz），響應時間短
    

    ● 原位掃描和步進響應優(yōu)化
    

    應用
    

    ● 高精度顯微鏡
    

    ● AFM，SPM，NSOM
    

    推薦控制器
    

    ● NPC-D-6000?系列
    

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    產(chǎn)品參數(shù)
    
                                                        
    
                                
    
                                    
                                    
    
                                        參數(shù)/型號
                                        
                                                                                    方向
                                                                                    材料
                                                                                    行程 μm
                                                                                    負載 kg
                                                                                    線性誤差 %
                                                                                    重復定位精度 nm
                                                                            
    
                                        
                                    
                                                                            
    
                                            NPS-XY-100D
                                                                                            
    XY
    		
                                                                                            
    殷瓦合金
    		
                                                                                            
    110 × 110
    		
                                                                                            
    0.5
    		
                                                                                            
    0.003
    		
                                                                                            
    0.5
    		
                                                                                    
    
                                                                            
                                
    

                            
    
                            
    
                                
                            
    
                                                    
    
                                                                        
                                                                        
    
                            
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    產(chǎn)品中心
    

    

    
    
    
        
        
    
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