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                        壓電定位Z軸平臺(tái)
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                        NPS-Z-15A
                    
    
                    
    
                        
    
                            
    
                                
    
                                    
      
                                            
                                                                                    
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    NPS-Z-15A
    
                            
    低漂移 15 微米載物臺(tái)
    
                            
    
                                                                    
    行程大于 15μm，分辨率達(dá)亞納米級(jí)
    
                                                                    
    典型值：滯后誤差小于 0.005%，線性誤差小于 0.01%
    
                                                                    
    第一諧振頻率典型值大于 3.5kHz
    
                                                                    
    高帶寬（大于 300Hz）和快速響應(yīng)時(shí)間
    
                                                                    
    原位掃描和步進(jìn)響應(yīng)優(yōu)化
    
                                                                    
    堅(jiān)固可靠
    
                                                                    
    超殷鋼結(jié)構(gòu)
    
                                                            
    
                        
    
                    
    

                
    
            
    
            
    
                
    
                    
    
                        
    
                                                        
    產(chǎn)品描述
    
                                                                                    
    產(chǎn)品參數(shù)
    
                                                                                    
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    產(chǎn)品描述
    
                            
    

    NPS-Z-15A 是一款壓電掃描式柔性導(dǎo)軌平臺(tái)，集成電容式位置傳感器。它具備亞納米級(jí)分辨率和重復(fù)性。
    

    該平臺(tái)的設(shè)計(jì)使其與運(yùn)動(dòng)軸線的夾角較?。环浅＿m合用于掃描探針顯微鏡探針以及其他對(duì)橫向運(yùn)動(dòng)要求較高的應(yīng)用。
    

    

    ?特性
    

    

    ● 行程大于 15μm，分辨率達(dá)亞納米級(jí)
    

    ● 典型值：滯后誤差小于 0.005%，線性誤差小于 0.01%
    

    ● 第一諧振頻率典型值大于 3.5kHz
    

    ● 高帶寬（大于 300Hz）和快速響應(yīng)時(shí)間
    

    ● 原位掃描和步進(jìn)響應(yīng)優(yōu)化
    

    ● 堅(jiān)固可靠
    

    ● 超殷鋼結(jié)構(gòu)
    

    

    應(yīng)用
    

    

    ● 掃描探針顯微鏡
    

    ● 近場掃描光學(xué)顯微鏡（NSOM）
    

    ● 原子力顯微鏡
    

    ● 精密工程
    

    ● 干涉測量
    

    ● 計(jì)量學(xué)
    

    

    推薦控制器
    

    ● NPC-D-5200 數(shù)字控制器
    

    ● NPC-D-6000 系列
    

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    產(chǎn)品參數(shù)
    
                                                        
    
                                
    
                                    
                                    
    
                                        參數(shù)/型號(hào)
                                        
                                                                                    方向
                                                                                    材料
                                                                                    行程 μm
                                                                                    負(fù)載 kg
                                                                                    線性誤差 %
                                                                                    重復(fù)定位精度 nm
                                                                            
    
                                        
                                    
                                                                            
    
                                            NPS-Z-15A
                                                                                            
    Z
    		
                                                                                            
    超殷瓦合金（亮鍍鎳）
    		
                                                                                            
    8
    		
                                                                                            
    0.2
    		
                                                                                            
    ＜0.01
    		
                                                                                            
    NA.
    		
                                                                                    
    
                                                                            
                                
    

                            
    
                            
    
                                
                            
    
                                                    
    
                                                                        
    
                            
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    產(chǎn)品資料
    
                                                                                                                    
    
                                            NPS-Z-15A_EN_Datasheet
                                            
    
                                                
                                                258.27KB
                                            
    
                                            
    
                                                
                                                2026-01-21
                                            
    
                                            
    

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    產(chǎn)品中心
    

    

    
    
    
        
        
    
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